產品說明

• 晶圓電漿蝕刻機上電極
• 單晶矽，非結晶狀碳質電極及石墨材浸鍍非結晶狀碳電極等三種
• 不會散出粉塵

本公司代理日清紡所開發的上電極使用的材質有單晶矽，非結晶狀碳質電極及石墨材浸鍍非結晶狀碳電極等三種，石墨材浸鍍非結晶狀碳電極有不會散出粉塵的優點。