產品說明

• 一種理想的、精密的乾式清洗系統
• 利用二氧化碳氣體作成乾冰顆粒（二氧化碳雪花）
• 高速二氧化碳雪花衝擊精密零件或基板等待清洗物件的表面，以移除殘留有機物或污染粒子

利用二氧化碳雪花的衝擊動能和昇華時的擴張力，移除物件表面的殘留有機物或污染粒子，以達到清潔表面的效果。適合清洗的物件有半導體元件，平面顯示器基板，電子零件或光學元件。