MFS シリーズ, TFS シリーズ 日本リニアックス 製品概要 3/6 軸の力センサーですU薄膜メタライジングプロセスで作られた歪ゲージを用いています 薄膜プロセスで作られた歪ゲージが組み込まれたセンサーで、微小な力を高精度でセンシングすることができます。